Molybdenum nitride thin films on micro- and nanopatterned substrates atomic layer deposition and applications, JoY. Department of Chemistry . Dissertations


ISBN-10:
978-952-219-124-3
Kieli:
eng
Sivumäärä:
44, [47] s. : kuv.
Tekijät:
Miikkulainen Ville
Tuotekoodi 020429
10,80 €