Gravure offset printing for fabrication of electronic devices and integrated components in LTCC modules, Acta Universitatis Ouluensis C Technica 303

Siirtopainotekniikka elektroniikan komponenttien valmistamiseksi LTCC-moduuleihin Väitöskirjassa on tutkittu elektroniikan komponenttien miniaturisointia siirtopaino- ja LTCC-tekniikan avulla. Näitä tekniikoita on ensin tutkittu erikseen, jonka jälkeen niiden yhteistoimintaan liittyviä ongelmia on tutkittu suunnittelemalla ja valmistamalla erilaisia elektroniikan komponentteja. Siirtopainotekniikassa haluttu kuvio valmistetaan painolevylle, jonka päälle levitetään painettava muste. Se poimitaan silikonikumityynyn avulla, joka sitten siirretään substraatin päälle. Tyyny painetaan kontaktiin substraatin kanssa, jolloin muste siirtyy tyynystä substraattiin. Tässä työssä on tekniikan eri osa-alueita optimoitu, jotta se soveltuisi kapeiden johdotusten valmistukseen. Tutkimus on keskittynyt pääasiassa painolevyjen ja ?musteiden kehitykseen. Painomusteet on kehitetty modifioimalla kaupallisia paksukalvopastoja. Musteiden vaikutusta johdinten ominaisuuksiin, kuten viivanleveyteen ja resistiivisyyteen, on tutkittu. Johdinten riippuvuutta painolevyn urien syvyydestä on myös tutkittu. Kapeimmat johdinleveydet ovat olleet 30 µm. LTCC-tekniikka viittaa matalassa lämpötilassa sintrautuviin keraamisiin materiaaleihin. Työssä on tarkasteltu erilaisten LTCC-koostumusten ja prosessointivaiheiden vaikutuksia elektroniikan komponenttien valmistukseen. Komponenttien miniaturisointi on ollut keskeinen kohde tutkimuksessa. Esim. korkea-permittiivisten LTCC-teippien integrointi tavanomaisiin matala-permittiivisiin teippeihin on mahdollistanut suodatinrakenteiden miniaturisoinnin. Työssä on myös kehitetty LTCC-teknologiaa lämmönhallinnan suhteen. LTCC-teippejä on suoraan laminoitu ja sintrattu jäähdytyslevyn päälle. Parhaimmaksi jäähdytyslevymateriaaliksi osoittautui Au-pastalla pinnoitettu AlN-substraatti. Menetelmän etuna oli myös se, että LTCC-kalvojen lateraalinen kutistuminen sintrauksessa pystyttiin eliminoimaan.

ISBN-10:
978-951-42-8893-7
Kieli:
ENGL
Tekijät:
Lahti Markku
Tuotekoodi 013832
10,00 €