Laser-ablation deposition and characterization of polycrystalline Nd-modified Pb(Zr,Ti)O3 thin films, Acta Universitatis Ouluensis C Technica 142

Laserablaatioprosessissa fokusoitu laservalo kohdistetaan tyhjiössä olevan kohtio-materiaalin pintaan. Kohtiosta höyrystynyt ja ablatoitunut materiaali laajenee adiapaat-tisesti ja ydintyy sopivalle alustalle ohutkalvoksi. Laserablaatiotekniikka soveltuu hyvin useiden metallien sekä monikomponenttisten oksidiyhdisteiden, kuten PZT (lyijy-zirkonium-titanaatti, Pb(Zr,Ti)O3), ohutkalvokasvatukseen. Tässä väitöskirjatyössä keskityttiin sekä pelkkien PNZT-ohutkalvojen että platinaelektrodeilla varustettujen Pt/PNZT/Pt-ohutkalvokondensaattoreiden laserablaatiokasvatukseen yksikiteisille safiiri-, pii- ja magnesiumoksidisubstraateille sekä kalvojen rakenteelliseen ja sähköiseen karakterisointiin. Kasvatus suoritettiin huoneenlämpötilassa ja ohutkalvot jälkihehkutettiin tarvittavan kide- ja mikrorakenteen saavuttamiseksi.Havaittiin, että PNZT-kalvojen sekä koostumus että kiderakenne riippuvat voimakkaasti kasvatukseen käytetystä lasersäteen tehotiheydestä. Toisaalta, kalvojen lopulliseen koostumukseen voitiin vaikuttaa ratkaisevasti jälkihehkutuskäsittelyllä. Kondensaattorirakenteiden eristeominaisuudet olivat erinomaiset, mutta valmistus-prosessista aiheutuvat jännitykset heikensivät hieman komponenttien ferrosähköisiä ominaisuuksia, mutta kuitenkin merkittävästi vain piisubstraatilla.

ISBN-10:
951-42-5430-9
Kieli:
ENG
Tekijät:
Lappalainen Jyrki
Tuotekoodi 012802
7,57 €